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机构
微电子研究所 [19]
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OAI收割 [19]
内容类型
专利 [19]
发表日期
2018 [9]
2017 [2]
2016 [1]
2015 [3]
2014 [2]
2013 [1]
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共19条,第1-10条
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一种半导体器件的制造方法
专利
OAI收割
专利号: US10115804, 申请日期: 2018-10-30, 公开日期: 2015-11-12
作者:
王桂磊
;
李俊峰
;
刘金彪
;
赵超
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提交时间:2019/03/27
一种金属硅化物的形成方法
专利
OAI收割
专利号: US10096691, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2016-09-15
作者:
张青竹
;
赵利川
;
杨雄坤
;
殷华湘
;
闫江
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提交时间:2019/03/27
一种平坦化的工艺方法
专利
OAI收割
专利号: CN201410217592.2, 申请日期: 2018-06-01, 公开日期: 2015-11-25
作者:
李俊峰
;
赵超
;
杨涛
;
刘金彪
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提交时间:2019/03/21
一种半导体器件的掺杂方法
专利
OAI收割
专利号: CN201410105802.9, 申请日期: 2018-04-06, 公开日期: 2015-09-23
作者:
李俊峰
;
张琦辉
;
蒋浩杰
;
张浩
;
刘青
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提交时间:2019/03/19
一种锗的化学机械抛光方法
专利
OAI收割
专利号: CN201410345960.1, 申请日期: 2018-04-03, 公开日期: 2016-01-20
作者:
刘金彪
;
杨涛
;
赵超
;
李俊峰
;
贺晓彬
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提交时间:2019/03/19
一种刻蚀方法
专利
OAI收割
专利号: CN201510996470.2, 申请日期: 2018-04-03, 公开日期: 2016-05-25
作者:
李俊杰
;
李俊峰
;
杨清华
;
刘金彪
;
贺晓彬
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提交时间:2019/03/19
FinFet器件的制造方法
专利
OAI收割
专利号: CN201410199311.5, 申请日期: 2018-03-13, 公开日期: 2015-11-25
作者:
王垚
;
刘金彪
;
李俊峰
;
刘青
;
杨涛
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提交时间:2019/03/14
一种刻蚀方法(ETCHING METHOD)
专利
OAI收割
专利号: US9911617, 申请日期: 2018-03-06, 公开日期: 2017-06-29
作者:
李俊杰
;
李俊峰
;
杨清华
;
刘金彪
;
贺晓彬
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提交时间:2019/03/27
一种半导体器件的制造方法
专利
OAI收割
专利号: CN201410196176.9, 申请日期: 2018-03-06, 公开日期: 2015-11-25
作者:
李俊峰
;
刘金彪
;
赵超
;
王桂磊
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提交时间:2019/03/14
半导体器件的制造方法
专利
OAI收割
专利号: US9773707, 申请日期: 2017-09-26, 公开日期: 2016-12-29
作者:
赵超
;
李俊峰
;
刘金彪
;
王桂磊
;
高建峰
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提交时间:2018/07/18