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  • 半导体器件 [2]
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用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-22, 2014-01-22
作者:  
纪攀峰;  马平;  王军喜;  胡强;  冉军学
  |  收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2014/11/05
优化配置的多腔室MOCVD反应系统 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-05, 2014-02-05
作者:  
纪攀峰;  马平;  王军喜;  胡强;  冉军学
  |  收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2014/11/05