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Fabrication of Silicon Condenser Microphone Using Oxidized Porous Silicon as Sacrificial Layer 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 449-453
作者:  
Ning Jin
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2010/11/23