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  • 2017 [3]
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文  OAI收割
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography 期刊论文  OAI收割
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31
作者:  Song, Y.;  W. Wang;  S. Jiang;  Bayanheshig and N. Zhang
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Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文  OAI收割
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
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