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机构
半导体研究所 [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2010 [2]
2007 [2]
2005 [1]
学科主题
微电子学 [5]
筛选
浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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限定条件
学科主题:微电子学
条数/页:
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Influence of nitrogen dose on the charge density of nitrogen-implanted buried oxide in SOI wafers
期刊论文
OAI收割
journal of semiconductors, 2010, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 99-102
Zheng Zhongshan
;
Liu Zhongli
;
Li Ning
;
Li Guohua
;
Zhang Enxia
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/08/16
Influence of nitrogen implantation into the buried oxide on the radiation hardness of silicon-on-insulator wafers
期刊论文
OAI收割
chinese physics b, 2010, 卷号: 19, 期号: 10, 页码: art. no. 106106
Tang HM (Tang Hai-Ma)
;
Zheng ZS (Zheng Zhong-Shan)
;
Zhang EX (Zhang En-Xia)
;
Yu F (Yu Fang)
;
Li N (Li Ning)
;
Wang NJ (Wang Ning-Juan)
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2010/11/02
silicon-on-insulator wafers
radiation hardness
nitrogen implantation
Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density
期刊论文
OAI收割
acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451
Zheng, ZS (Zheng Zhong-Shan)
;
Zhang, EX (Zhang En-Xia)
;
Liu, ZL (Liu Zhong-Li)
;
Zhang, ZX (Zhang Zheng-Xuan)
;
Li, N (Li Ning)
;
Li, GH (Li Guo-Hua)
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2010/03/29
SIMOX
Radiation hardness characteristic of N-implanted and F-implanted SIMOX/NMOSFET
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2007, 卷号: 13, 期号: 5, 页码: 426-430
作者:
YU Fang
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/23
Sensitivity of Total-Dose Radiation Hardness of SIMOX Buried Oxides to Doses of Nitrogen Implantation into Buried Oxides
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 862-866
Zheng Zhongshan
;
Liu Zhongli
;
Zhang Guoqiang
;
Li Ning
;
Li Guohua
;
Ma Hongzhi
;
Zhang Enxia
;
Zhang Zhengxuan
;
Wang Xi
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2010/11/23