机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 外文期刊 [1]

发表日期

• 1998 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：外文期刊    发表日期：1998     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 New Ti-SALICIDE process using Sb and Ge preamorphization for sub-o.2 mu m CMOS technology 外文期刊  OAI收割 1998 作者:  Xu, QX;  Hu, CM   |  收藏  |