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机构
金属研究所 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2022 [1]
2006 [1]
学科主题
薄膜材料 [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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Tuning mechanical and corrosion performance of SiOC glass coatings prepared by thermal MOCVD
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2022, 卷号: 579, 页码: 7
作者:
Liu, Housheng
;
Tariq, Naeem ul Haq
;
Jing, Weichen
;
Cui, Xinyu
;
Tang, Mingqiang
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收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2022/07/01
SiOC coatings
MOCVD
Hardness and modulus
HF etch resistance
等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院, 2006
作者:
收藏
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浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2013/05/24
a-CNxH 薄膜
PECVD
硬度
弹性模量
耐热耐蚀性
摩擦磨损行为
a-CNxH films
Hardness and elastic modulus
Thermal stability and corrosion-resistant properties
Friction and wear behavior