机构

• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2022 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 The application of a helicon plasma source in reactive sputter deposition of tungsten nitride thin films 期刊论文  OAI收割 Plasma Science and Technology, 2022, 卷号: 24 作者:  YANG,Yan;  JI,Peiyu;  LI,Maoyang;  YU,Yaowei;  HUANG,Jianjun   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2022/12/22 helicon wave plasma  reactive sputtering  tungsten nitride  plasma diagnosis