原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁帅; 刘增磊; 高爱莲; 焦念东
|
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
 |
| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 15期号:4页码:267-272 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 关键词 | 原子力显微镜 纳米焊接 纳米加工 温度仿真 |
| 其他题名 | Simulation of Temperature During Nano-Deposition Fabrication with Atomic Force Microscope |
| 通讯作者 | 刘增磊 |
| 产权排序 | 3 |
| 中文摘要 | 原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)纳米沉积加工是一种重要的纳米焊接手段,其加工机理存在场致蒸发和热致蒸发两种可能.为明确AFM沉积加工的机理,本文通过仿真研究了AFM纳米沉积加工过程中的温度变化,分析了加工电流的波形和空气介质对沉积的影响,并在此基础上建模,分别研究瞬态电流和稳态电流引起的温度变化.通过仿真发现,沉积中温度确有上升,但远没有达到引起热蒸发的程度.验证了AFM纳米沉积加工是基于场蒸发的原理. |
| 英文摘要 | Nano-deposition fabrication with atomic force microscope(AFM) is an important technique for nano-welding. The AFM nano-deposition might be induced by either electric field or heat. To reveal the mechanism, this paper research the temperature variation during AFM nano-deposition. The effects of fabrication current waveform and air on deposition were analyzed, and a model was built on this basis to study the temperature variation caused by transient current and steady-state current respectively. It was found that temperature did rise in the process of deposition, but there was a long way before the temperature reached the value for heat-induced deposition. Therefore, it was testified that AFM nano-deposition fabrication was based on electric-field-induced deposition theory. |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6060911 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/20983]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 作者单位 | 1.沈阳建筑大学信息与控制工程学院 2.中国科学院沈阳自动化研究所 3.南阳理工学院电子与电气工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁帅,刘增磊,高爱莲,等. 原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真[J]. 纳米技术与精密工程,2017,15(4):267-272. |
| APA | 袁帅,刘增磊,高爱莲,&焦念东.(2017).原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真.纳米技术与精密工程,15(4),267-272. |
| MLA | 袁帅,et al."原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真".纳米技术与精密工程 15.4(2017):267-272. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。