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PIN超结结构

文献类型:专利

作者卢烁今; 张文亮; 朱阳军; 胡爱斌
发表日期2018-03-30
专利号CN201310085640.2
著作权人中国科学院微电子研究所 ; 上海联星电子有限公司 ;  江苏中科君芯科技有限公司
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种PIN超结结构,包括:N型柱、P型柱、发射极、基区、发射极金属层、缓冲层、集电极、集电极金属层及本征区;所述N型柱依次通过缓冲层、集电极与集电极金属层连接;所述P型柱与所述基区连接;所述发射极金属层分别与发射极及基区电学连接;所述本征区设置在N型柱及P型柱之间。本发明提供的PIN超结结构,在传统的N+/P+柱之间加入本征区域,从而使N+/P+柱的宽度和掺杂浓度的约束关系去除,不仅能给器件设计提供更大的自由度,还能更好的去折中器件的性能。

公开日期2014-06-04
申请日期2013-03-18
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18664]  
专题微电子研究所_硅器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
卢烁今,张文亮,朱阳军,等. PIN超结结构. CN201310085640.2. 2018-03-30.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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