真空机器人轨迹规划研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邹风山 ; 曲道奎 ; 徐方 |
| 刊名 | 组合机床与自动化加工技术
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 10页码:13-16 |
| 关键词 | 点到点运动 真空机器人 轨迹规划 规划方法 残余振动 速度轨迹 非对称 加加速度 限制条件 规划算法 |
| ISSN号 | 1001-2265 |
| 其他题名 | Research on Vacuum Cluster Tools Robot Trajectory Planning |
| 通讯作者 | 邹风山 |
| 中文摘要 | 为了使真空机器人获得高速、高精度的运动性能并减少系统的残余振动,文中提出了一种加加速度受限的非对称轨迹规划方法。首先阐述了该轨迹规划方法中轨迹限制条件的定义,然后根据定义的限制条件值给出了所有可能的加速度轨迹形状,并给出了各种轨迹形状下的完整算法及实现,最后将该算法应用于真空机器人运动规划中,该机器人用于在真空腔室中进行硅片传输工作。实验结果表明该方法可以有效地提高机器人的定位精度和效率并减少系统的残余振动。 |
| 资助信息 | 国家科技重大专项(2009ZX02012) |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/7490]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_其他 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹风山,曲道奎,徐方. 真空机器人轨迹规划研究[J]. 组合机床与自动化加工技术,2011(10):13-16. |
| APA | 邹风山,曲道奎,&徐方.(2011).真空机器人轨迹规划研究.组合机床与自动化加工技术(10),13-16. |
| MLA | 邹风山,et al."真空机器人轨迹规划研究".组合机床与自动化加工技术 .10(2011):13-16. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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