基于纳米运动平台的原子力显微镜开发
文献类型：期刊论文
| 作者 | 焦念东 ; 王越超; 董再励
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| 刊名 | 高技术通讯
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 17期号:3页码:268-273 |
| 关键词 | 原子力显微镜 运动耦合 纳米运动平台 Afm力曲线 |
| ISSN号 | 1002-0470 |
| 其他题名 | Development of atomic force microscope based on nano positioning stage |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜(AFM).该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结构误差--交叉耦合误差和扫描范围误差,极大提高了纳米测量及操作的精度。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2713869 |
| 资助机构 | 国家自然科学基金 ; 辽宁省优秀青年科技人才基金 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/2581]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 作者单位 | 1.中国科学院研究生院 2.中国科学院沈阳自动化研究所 3.美国密西根州立大学电子与计算机工程系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 焦念东,王越超,董再励. 基于纳米运动平台的原子力显微镜开发[J]. 高技术通讯,2007,17(3):268-273. |
| APA | 焦念东,王越超,&董再励.(2007).基于纳米运动平台的原子力显微镜开发.高技术通讯,17(3),268-273. |
| MLA | 焦念东,et al."基于纳米运动平台的原子力显微镜开发".高技术通讯 17.3(2007):268-273. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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