机器人化微纳操作研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁帅; 王越超 ; 于海波; 焦念东; 于鹏; 刘连庆
|
| 刊名 | 科学通报
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 58期号:S2页码:28-39 |
| 关键词 | 纳米操作 原子力显微镜 探针定位 虚拟夹具 |
| ISSN号 | 0023-074X |
| 其他题名 | Research progress of robotics based micro/nano-manipulation |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望. |
| 语种 | 中文 |
| 资助机构 | 国家自然科学基金(61175103,61305125) ; 国家博士后基金(2013M530955) ; 中国科学院-国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/14690]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 作者单位 | 1.香港城市大学机械与生物医学工程系 2.中国科学院沈阳自动化研究所,机器人学国家重点实验室 3.沈阳建筑大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁帅,王越超,于海波,等. 机器人化微纳操作研究进展[J]. 科学通报,2013,58(S2):28-39. |
| APA | 袁帅,王越超,于海波,焦念东,于鹏,&刘连庆.(2013).机器人化微纳操作研究进展.科学通报,58(S2),28-39. |
| MLA | 袁帅,et al."机器人化微纳操作研究进展".科学通报 58.S2(2013):28-39. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。