基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高宏伟 ; 刘连庆; 张晓龙; 焦念东
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 50期号:10页码:635-638,661 |
| 关键词 | 微流控芯片 数控雕刻机 不对称路径 微电子机械系统(MEMS) 微细加工 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 其他题名 | Fabrication Method of the Microfluidic Chip Based on the Numerical Control Carving Machine |
| 中文摘要 | 介绍了一种基于数控雕刻机的简捷微流控芯片制作方法。结合数控雕刻机加工模式中平行粗加工和等高线细加工的优点，设计并提出了一种不对称路径加工方法，有效避免了微结构在加工过程中出现断裂、扭曲及其附近大量残渣堆积等现象。相对于传统基于微电子机械系统(MEMS) 工艺的微流控芯片加工过程(涂胶、曝光、显影等工艺) ，该方法简捷易行，整个加工过程仅需3 ho 实验结果表明芯片通畅性与密封性良好，满足实验妥求。这种制作方法可以极大减少微流控芯片的加工时间和成本，为实验室微流控芯片的结构设计和前期原理验证提供了一种简捷有效的途径。 |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助项目(61106109) ;辽宁省自然科学基金资助项目(201102229) |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-12-27 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/14037]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 通讯作者 | 焦念东 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高宏伟,刘连庆,张晓龙,等. 基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法[J]. 微纳电子技术,2013,50(10):635-638,661. |
| APA | 高宏伟,刘连庆,张晓龙,&焦念东.(2013).基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法.微纳电子技术,50(10),635-638,661. |
| MLA | 高宏伟,et al."基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法".微纳电子技术 50.10(2013):635-638,661. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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