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  • 光电技术研究所 [6]
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  • OAI收割 [6]
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  • 2015 [6]
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Moire-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System 期刊论文  OAI收割
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2015, 卷号: 7, 期号: 6
作者:  Zhou, Yi;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Si, Xinchun
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/02/03
Moire fringe alignment using composite circular-line gratings for proximity lithography 期刊论文  OAI收割
OPTICS EXPRESS, 2015, 卷号: 23, 期号: 16, 页码: 20905-20915
作者:  Xu, Feng;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Jiang, Wenbo;  Luo, Liang
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/12/04
Scalar-Based Analysis of Phase Gratings Etched in the Micro/nanofabrication Process 期刊论文  OAI收割
IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2015, 卷号: 7, 期号: 4
作者:  Zhou, Shaolin;  Yang, Yong;  Hu, Song;  Xu, Xiangmin
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/12/04
Moire-Based Absolute Interferometry With Large Measurement Range in Wafer-Mask Alignment 期刊论文  OAI收割
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4
作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yin, Didi;  Ma, Chifei
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/07/10
Adjustment Strategy for Inclination Moire Fringes in Lithography by Spatial Frequency Decomposition 期刊论文  OAI收割
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4
作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/07/10
Gap-optimized Moire phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文  OAI收割
OPTICAL ENGINEERING, 2015, 卷号: 54, 期号: 1
作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  You, Zhisheng;  Su, Xianyu
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