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上海光学精密机械研究... [3]
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OAI收割 [3]
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学位论文 [3]
发表日期
学科主题
光学工程 [3]
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学科主题:光学工程
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
OAI收割
作者:
郑亚忠
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究
学位论文
OAI收割
作者:
马健
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提交时间:2018/12/26
光刻机
lithography machine
光瞳整形
pupil shaping
变焦系统
zoom system
轴锥镜组
axicon group
光学设计
optical design
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
OAI收割
作者:
程伟林
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology