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机构
半导体研究所 [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
专利 [5]
发表日期
学科主题
半导体器件 [5]
筛选
浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
帮助
限定条件
存缴方式:oaiharvest
学科主题:半导体器件
内容类型:专利
条数/页:
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一种MOCVD设备中的石墨盘
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-10-25
胡强
;
李晋闽
;
王军喜
;
曾一平
;
路红喜
;
伊晓燕
;
马平
;
魏同波
;
闫建昌
;
纪攀峰
收藏
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浏览/下载:125/0
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提交时间:2016/10/25
MOCVD设备的石墨托盘
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
纪攀峰
;
孔庆峰
;
王文军
;
胡强
;
马平
;
曾一平
;
王军喜
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2016/08/30
MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-08, 2013-05-08
作者:
冉军学
;
胡强
;
胡国新
;
梁勇
;
熊衍凯
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/12/25
用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-22, 2014-01-22
作者:
纪攀峰
;
马平
;
王军喜
;
胡强
;
冉军学
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2014/11/05
优化配置的多腔室MOCVD反应系统
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-05, 2014-02-05
作者:
纪攀峰
;
马平
;
王军喜
;
胡强
;
冉军学
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收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2014/11/05