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半导体研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2008 [3]
学科主题
半导体材料 [3]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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限定条件
发表日期:2008
学科主题:半导体材料
内容类型:期刊论文
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Fracture Properties of LPCVD Silicon Nitride and Thermally Grown Silicon Oxide Thin Films From the Load-Deflection of Long Si3N4 and SiO2/Si3N4 Diaphragms
期刊论文
OAI收割
journal of microelectromechanical systems, 2008, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1120-1134
Yang, JL
;
Gaspar, J
;
Paul, O
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提交时间:2010/03/08
Bulge test
fracture
pooled Weibull analysis
silicon nitride (Si3N4)
silicon oxide (SiO2)
Study of GaN growth on ultra-thin Si membranes
期刊论文
OAI收割
solid-state electronics, 2008, 卷号: 52, 期号: 6, 页码: 986-989
Wang X
;
Wu AM
;
Chen J
;
Wang X
;
Wu YX
;
Zhu JJ
;
Yang H
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浏览/下载:58/2
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提交时间:2010/03/08
GaN
Effect of indium-doped interlayer on the strain relief in GaN films grown on Si(111)
期刊论文
OAI收割
physica status solidi a-applications and materials science, 2008, 卷号: 205, 期号: 2, 页码: 294-299
Wu, JJ
;
Zhao, LB
;
Zhang, GY
;
Liu, XL
;
Zhu, QS
;
Wang, ZG
;
Jia, QJ
;
Guo, LP
;
Hu, TD
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提交时间:2010/03/08
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
TEMPERATURE ALN INTERLAYERS
PHASE EPITAXY
OPTICAL-PROPERTIES
SURFACTANT
SUBSTRATE
STRESS
SI
REDUCTION
SAPPHIRE