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• 上海光学精密机械研究... [3]

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• 学位论文 [3]

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• 2012 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  肖艳芬 收藏  |  浏览/下载：316/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  照明系统  微透镜阵列  光束均匀化  均匀性检测   准分子激光线宽压窄技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  张海波 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2016/11/28 准分子激光器  线宽压窄  带宽测量  棱镜扩束器  中阶梯光栅  激光感生荧光   多光束激光并行直写光栅装置 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  曹武刚 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28 多光束，高精度，光栅，激光直写，伺服聚焦