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  • 上海光学精密机械研究... [7]
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  • 2014 [7]
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可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  刘涛
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28
可变载频径向剪切雅敏干涉仪 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:  朱勇建;  那景新;  王宇;  职亚楠;  范玉峰
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28
可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003
作者:  刘涛;  徐文东;  赵成强;  王闯;  胡永璐
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/25
可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003
作者:  刘涛;  徐文东;  赵成强;  王闯;  胡永璐
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28
可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003
作者:  刘涛;  徐文东;  赵成强;  王闯;  胡永璐
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28
可变载频径向剪切雅敏干涉仪 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:  朱勇建;  那景新;  王宇;  职亚楠;  范玉峰
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/28
可变载频径向剪切雅敏干涉仪 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:  朱勇建;  那景新;  王宇;  职亚楠;  范玉峰
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/25