中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
半导体研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2009 [1]
学科主题
微电子学 [2]
筛选
浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
帮助
限定条件
学科主题:微电子学
内容类型:期刊论文
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
Formation of silicon nanocrystals embedded in high-kappa dielectric HfO2 and their application for charge storage
期刊论文
OAI收割
journal of vacuum science & technology b, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 2011, 卷号: 29, 29, 期号: 2, 页码: article no.21018, Article no.21018
作者:
Li WL
;
Jia R
;
Chen C
;
Li HF
;
Liu XY
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:38/2
  |  
提交时间:2011/07/05
SI NANOCRYSTALS
MEMORY
TECHNOLOGY
DEPOSITION
VOLTAGE
LAYER
Si Nanocrystals
Memory
Technology
Deposition
Voltage
Layer
Enhanced charge storage characteristics of silicon nanocrystals fabricated by electron-beam coevaporation of Si and SiOx(x=1 or 2)
期刊论文
OAI收割
journal of vacuum science & technology b, 2009, 卷号: 27, 期号: 6, 页码: 2462-2467
Chen C (Chen Chen)
;
Jia R (Jia Rui)
;
Li WL (Li Weilong)
;
Li HF (Li Haofeng)
;
Ye TC (Ye Tianchun)
;
Liu XY (Liu Xinyu)
;
Liu M (Liu Ming)
;
Kasai S (Kasai Seiya)
;
Tamotsu H (Tamotsu Hashizume)
;
Wu NJ (Wu Nanjian)
收藏
  |  
浏览/下载:139/35
  |  
提交时间:2010/03/08
electron beam deposition