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• 上海光学精密机械研究... [5]

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• 会议论文 [5]

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• 2016 [2]
• 2014 [3]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法 会议论文  OAI收割 作者:  孟泽江;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/12/25 基于线性规划的光刻机光源优化方法 会议论文  OAI收割 作者:  李思坤;  王磊;  杨朝兴;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25 用于大口径微透镜阵列匀光性能的子孔径拼接检测方法 会议论文  OAI收割 作者:  张方;  朱菁;  杨宝喜;  胡小邦;  王健 收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2016/11/28 投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响分析 会议论文  OAI收割 作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28 基于空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面检测方法 会议论文  OAI收割 作者:  李思坤;  王向朝;  闫观勇;  沈丽娜 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28