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机构
上海微系统与信息技术... [3]
宁波材料技术与工程研... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2010 [1]
2003 [2]
2000 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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内容类型:学位论文
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新型45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧源系统的磁场模拟计算和ta-C薄膜动力学生长研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
李洪波
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2010/07/21
双弯曲磁过滤阴极电弧
磁场分布
碳离子传输
ta-C薄膜。
AIN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
宋朝瑞
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/03/06
SOI
电热模型
自加热效应
离子束增强沉积
真空磁过滤弧源沉积
AlN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
宋朝瑞
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/03/06
SOI
电热模型
自加热效应
离子束增强沉积
真空磁过滤弧源沉积
真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2000
俞柳江
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2012/03/06
真空磁过滤弧沉积:7507
金刚石薄膜:5321
材料领域:2760
生物医学:2186
应用研究:1238
无氢非晶金刚石薄膜:876
血液相容性:459
热解碳:457
离子源:330
液氮冷却系统:285