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新型45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧源系统的磁场模拟计算和ta-C薄膜动力学生长研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
李洪波
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2010/07/21
AIN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2003
宋朝瑞  
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2012/03/06
AlN、ta-C薄膜制备及其在SOI技术中的应用研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2003
宋朝瑞
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/03/06
真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海冶金研究所  , 2000
俞柳江  
收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2012/03/06