机构

• 微电子研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2018 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Fast optical proximity correction method based on nonlinear compressive sensing 期刊论文  OAI收割 Optics Express, 2018 作者:  Xu Ma;  Javier Garcia-Frias;  Lisong Dong;  Gonzalor.Arce;  YanQiu Li   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/05/05 Development defect model for immersion photolithography 期刊论文  OAI收割 J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2018 作者:  Qing Wu;  Ling Ma;  Lisong Dong;  Qiaoqiao Li;  Yayi Wei   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/05/05