机构

• 微电子研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 专利 [2]

发表日期

• 2007 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种太阳能电池刻边机反应室结构 专利  OAI收割 专利号: CN101471395, 申请日期: 2007-12-26, 公开日期: 2009-07-01, 2010-11-26 作者:  王佳;  刘训春;  周宗义;  李兵;  张永利   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/11/26 平板式等离子体增强化学汽相淀积设备的反应室结构 专利  OAI收割 专利号: CN101469414, 申请日期: 2007-12-26, 公开日期: 2009-07-01, 2010-11-26 作者:  周宗义;  张永利;  王佳;  张育胜;  李兵   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/26