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亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  杨超
  |  收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2022/10/08
支撑变形对面形检测精度影响研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  刘绚
  |  收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2022/06/17
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
  |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2022/06/29
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
  |  收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
  |  收藏  |  浏览/下载：101/0  |  提交时间：2020/08/24
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
  |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2020/08/24
基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  艾立夫
  |  收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2019/06/13
离轴四反射镜衍射成像光学系统设计 期刊论文  OAI收割
光电工程, 2019, 卷号: 46, 期号: 11, 页码: 82-90
作者:  何传王[1,2];  汪利华[1];  黄鹏[1,2];  董小春[1];  范斌[1]
  |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2021/05/06
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
  |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2019/09/23
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
  |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/09/23