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基于夹层结构的长波红外超表面吸收器设计研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
罗奕
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提交时间:2020/08/24
超表面
长波红外
宽带吸收器
微桥结构
基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法
专利
OAI收割
专利号: CN201610798783.1, 申请日期: 2018-06-22, 公开日期: 2016-12-07
作者:
陈大鹏
;
明安杰
;
刘卫兵
;
孙西龙
;
王玮冰
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提交时间:2019/03/05
一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器
专利
OAI收割
专利号: 2016105665142, 申请日期: 2018-06-22,
作者:
魏兴战
;
杨俊
;
冯双龙
;
申钧
;
周大华
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提交时间:2018/07/02
140单元MEMS变形镜研制及测试分析
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者:
汪为民
;
王强
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提交时间:2019/08/23
微机电系统
变形镜
自适应光学
静电驱动器
LED微投影系统设计与红光LED微显示阵列的制作研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
冯思悦
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提交时间:2019/09/23
投影显示系统
投影物镜
Micro-LEDs
MEMS技术
半导体器件制造方法
专利
OAI收割
专利号: CN201510011821.X, 申请日期: 2017-09-05, 公开日期: 2016-08-03
作者:
李俊峰
;
王垚
;
杨涛
;
丁明正
;
贺晓彬
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提交时间:2018/04/10
面向 MEMS 红外光源的高辐射率纳米硅结构制备
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2017
作者:
明安杰
;
谭秋林
;
刘卫兵
;
熊继军
;
王玮冰
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提交时间:2018/05/14
基于晶圆键合的MEMS通用工艺平台技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院大学, 2017
作者:
张乐民
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提交时间:2017/08/23
新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:
张轲
;
苗斌
;
丁祥桢
;
顾智琦
;
潘天龙
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提交时间:2018/04/09
高频硅基超声雾化器
有限元分析
谐振频率
变幅杆
微机电系统
柱式平板声子晶体点缺陷模式研究
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2017, 页码: 198-201
作者:
黄翔宇
;
刘永顺
;
舒风风
;
武俊峰
;
吴一辉
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提交时间:2018/04/09
声子晶体
柱式平板
点缺陷
选择性激励
工艺加工