中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
长春光学精密机械与物... [9]
采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
专利 [8]
期刊论文 [1]
发表日期
2013 [1]
2012 [1]
2011 [6]
2010 [1]
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共9条,第1-9条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
收藏
  |  
浏览/下载:48/0
  |  
提交时间:2014/03/11
一种用于光学测量的积分球装置 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11
作者:
巩岩
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2012/08/29
一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
作者:
王学亮
;
赵磊
;
张巍
;
巩岩
;
倪明阳
收藏
  |  
浏览/下载:101/0
  |  
提交时间:2012/08/29
一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
作者:
倪明阳
;
王学亮
;
袁文全
;
巩岩
;
张巍
收藏
  |  
浏览/下载:166/0
  |  
提交时间:2012/08/29
一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
作者:
张巍
;
王学亮
;
袁文全
;
倪明阳
;
巩岩
收藏
  |  
浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2012/08/29
高精度物镜波纹管致动器的线性度分析
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:
赵磊
;
张巍
;
王学亮
;
倪明阳
;
袁文全
收藏
  |  
浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2013/03/11
高精度物镜
气动
波纹管
几何非线性
有限单元法
一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
作者:
倪明阳
;
袁文全
;
王学亮
;
张巍
;
巩岩
收藏
  |  
浏览/下载:22/0
  |  
提交时间:2012/08/29
一种光学元件重力变形的补偿装置 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-13, 公开日期: 2012-08-29
作者:
袁文全
;
张巍
;
倪明阳
;
王学亮
;
赵磊
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2012/08/29
投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2012-08-29
作者:
王学亮
;
袁文全
;
倪明阳
;
张巍
;
巩岩
收藏
  |  
浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2012/08/29