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浏览/检索结果: 共9条,第1-9条 帮助

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一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
收藏  |  浏览/下载:48/0  |  提交时间:2014/03/11
一种用于光学测量的积分球装置 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11
作者:  
巩岩
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2012/08/29
一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
作者:  
王学亮;  赵磊;  张巍;  巩岩;  倪明阳
收藏  |  浏览/下载:101/0  |  提交时间:2012/08/29
一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
作者:  
倪明阳;  王学亮;  袁文全;  巩岩;  张巍
收藏  |  浏览/下载:166/0  |  提交时间:2012/08/29
一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
作者:  
张巍;  王学亮;  袁文全;  倪明阳;  巩岩
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2012/08/29
高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  
赵磊;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  袁文全
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2013/03/11
一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
作者:  
倪明阳;  袁文全;  王学亮;  张巍;  巩岩
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/08/29
一种光学元件重力变形的补偿装置 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-13, 公开日期: 2012-08-29
作者:  
袁文全;  张巍;  倪明阳;  王学亮;  赵磊
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2012/08/29
投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 (发明) 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2012-08-29
作者:  
王学亮;  袁文全;  倪明阳;  张巍;  巩岩
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/08/29