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长春光学精密机械与... [16]
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OAI收割 [16]
内容类型
期刊论文 [16]
发表日期
2018 [3]
2017 [3]
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基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:
匡尚奇
;
张超
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/09/17
光学多层膜
膜系设计
量子遗传算法
宽带极紫外多层膜
离散化设计
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征
期刊论文
OAI收割
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:
王一名
;
张超
;
孙秀平
;
匡尚奇
;
杨海贵
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2019/09/17
薄膜光学
薄膜表征
掠入射X射线反射
云模型量子进化算法
极紫外多层膜
单层膜
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
匡尚奇
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2019/09/17
多层膜设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:
张超
;
张杰瑞
;
王一名
;
匡尚奇
;
谢耀
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2018/04/09
薄膜
多层膜设计
量子进化算法
宽角度极紫外多层膜
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:
周祥燕
;
张超
;
匡尚奇
;
龚学鹏
;
杨海贵
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提交时间:2018/04/09
薄膜
薄膜表征
量子衍生遗传算法
掠入射x射线反射
量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用
期刊论文
OAI收割
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:
匡尚奇
;
梅雪峰
;
谢耀
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提交时间:2017/09/17
Euv多层膜
量子进化算法
膜系设计
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:
王珣
;
金春水
;
李春
;
匡尚奇
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提交时间:2016/07/06
薄膜
极紫外保护层
直流反应磁控溅射
迟滞回线
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:
喻波
;
金春水
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2015/04/17
薄膜
极紫外光刻
碳沉积模型
迭代法
极紫外光学器件辐照污染检测技术
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:
金春水
;
喻波
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提交时间:2015/04/17
极紫外光刻
碳污染检测
光纤椭偏仪