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• 电子学研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2013 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2013, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 801 曹明威，陈德勇，王军波，焦海龙，张健 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2014/04/15 一种谐振式MEMS压力传感器单芯片级真空封装和低应力组装方法 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2013, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 492 张健，王军波，曹明威，陈德勇 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2014/04/14