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• 上海微系统与信息技术... [4]

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• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 专利 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2007 [3]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械探卡  芯片测试  悬臂梁  接触电阻   对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101038298, 申请日期: 2007-09-19, 公开日期: 2007-09-19 车录锋; 徐玮鹤; 熊斌; 戈肖鸿; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/06 一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 10 徐玮鹤; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 纳米材料  β-Ni(OH)_2  ZnO  XRD多重宽化效应   硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 徐玮鹤   收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  硅-硅键合  圆片级真空封装