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• 长春光学精密机械与物... [5]

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• 期刊论文 [5]

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• 2016 [2]
• 2015 [1]
• 2014 [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655 作者:  才玺坤;  梅林;  武潇野;  贺健康;  时光   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/09/17 离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性   离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363 作者:  张立超;  贺健康;  梅林;  武潇野;  时光   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2017/09/17 离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性   深紫外光刻光学薄膜 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181 作者:  张立超;  才玺坤;  时光 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2016/07/06 深紫外光刻  超精密光学  膜系设计  光学性能保障  环境适应性   热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815 作者:  张立超;  时光;  梅林;  才玺坤 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2015/04/17 薄膜  LaF3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜   激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193 作者:  梅林;  时光;  才玺坤;  武潇野;  张立超 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2015/04/17 薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数