机构

• 上海微系统与信息技术... [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1992 [1]
• 1986 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 PECVD SiON膜的性质及其在双层互连工艺中的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 1992, 期号: 06 曾天亮; 陈平; 江志庚; 李志彭 收藏  |  浏览/下载：96/0  |  提交时间：2012/03/29 CVD BPSG膜的沉积及其回流机理 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 1986, 期号: 04 曾天亮; 江志庚 收藏  |  浏览/下载：94/0  |  提交时间：2012/03/29