机构

• 金属研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1993 [1]
• 1992 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 离子束增强反应磁控溅射低温快速沉积AlN膜 期刊论文  OAI收割 无机材料学报, 1993, 期号: 3, 页码: 321-326 王浩,黄荣芳,吴杰,洪瑞江,闻立时 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/04/12 薄膜  氮化铝  磁控溅射   离子束增强反应磁控溅射AIN膜的组织结构及光学特性 期刊论文  OAI收割 材料科学进展, 1992, 期号: 3, 页码: 236-240 王浩,黄荣芳,洪瑞江,吴杰,闻立时 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/04/12 薄膜  AlN  磁控溅射