机构

• 上海微系统与信息技术... [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 专利 [1]

发表日期

• 2005 [3]
• 2004 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26 李昕欣; 程保罗; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 期号: 03 程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 杨恒; 戈肖鸿; 宋朝晖 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06 智能材料  智能结构   新型侧壁绝缘体硅微机械工艺 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2005, 期号: 01 程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 张鲲; 戈肖鸿; 宋朝晖 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 超级电容器  中孔炭  模板法  孔径分布  倍率特性   纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究 期刊论文  OAI收割 传感器技术, 2004, 期号: 01 杨尊先; 程保罗; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06 VCO  Ka波段  MIMIC