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电子学研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
专利 [1]
发表日期
2010 [1]
2003 [1]
2002 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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半导体热电偶型微波功率传感器
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2004-07-07, 2010-12-24
崔大付
;
者文明
;
陈德勇
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提交时间:2010/12/24
微梁结构热偶微波功率传感器的灵敏度分析
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2003, 期号: 3, 页码: 1-3
者文明,崔大付,陈德勇
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提交时间:2010/09/02
热偶 微梁结构微波功率传感器 MIS结构
微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺
期刊论文
OAI收割
传感器技术, 2002, 卷号: 21, 期号: 11, 页码: 31-33
者文明,崔大付,陈德勇,王利,王蕾
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提交时间:2010/09/02
热偶 微波功率 微梁结构热偶微波功率传感器 MEMS工艺