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一种动态受控电弧离子镀弧源 专利  OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杨英, 赵彦辉, 杜昊 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2013/06/06
一种改善电弧离子镀沉积工艺的动态磁控弧源装置 专利  OAI收割
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-12-03, 公开日期: 2008-12-03
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杜昊, 赵彦辉, 杨英 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2013/06/06
耦合磁场辅助电弧离子镀沉积装置 专利  OAI收割
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-12-03, 公开日期: 2008-12-03
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杨英, 赵彦辉, 杜昊 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2013/06/06