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机构
金属研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
专利 [3]
发表日期
2009 [1]
2008 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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一种动态受控电弧离子镀弧源
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杨英, 赵彦辉, 杜昊 and 闻立时
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提交时间:2013/06/06
一种改善电弧离子镀沉积工艺的动态磁控弧源装置
专利
OAI收割
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-12-03, 公开日期: 2008-12-03
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杜昊, 赵彦辉, 杨英 and 闻立时
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/06/06
耦合磁场辅助电弧离子镀沉积装置
专利
OAI收割
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-12-03, 公开日期: 2008-12-03
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 杨英, 赵彦辉, 杜昊 and 闻立时
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提交时间:2013/06/06