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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2003 [1]
2002 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2003, 期号: 04
章宁琳
;
宋志棠
;
邢溯
;
万青
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/06
微针
药物传输
基因传输
微电子机械系统
高介电常数材料的制备及电学性能研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2002
邢溯
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浏览/下载:146/0
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提交时间:2012/03/06
高介电常数材料
栅介质
DRAM电容介质
FeRAM