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微机电系统三维垂直组合封装的结构及其制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101525116, 申请日期: 2009-09-09, 公开日期: 2009-09-09
阮祖刚; 徐高卫; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2012/01/06
MEMS加速度计三维堆叠模块化封装及垂直互连 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03
阮祖刚; 林小芹; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/01/06
MEMS三维堆叠模块化封装研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
阮祖刚  
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