机构

• 电子学研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2001 [2]
• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微型硅谐振式压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 传感器技术, 2001, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 49-51 陈德勇，崔大付，王利，于中尧，韩泾鸿 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/09/02 微电子机械加工技术 硅谐振梁 压力传感器   热激励硅梁谐振器研究 期刊论文  OAI收割 电子与信息学报, 2001, 卷号: 24, 期号: 8, 页码: 787-792 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/09/02 热激励 硅梁 谐振器   微结构谐振梁式压力传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2000, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 258-259 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/09/02 微电子机械加工硅梁谐振器谐振式压力传感器