机构

• 光电技术研究所 [5]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2015 [5]

学科主题

• Alignment ... [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 三维叠层气浮运动平台控制系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  马驰飞 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2015/07/30 高精度运动平台  运动控制系统  多轴运动控制  PCI总线  CAN总线   Moire-Based Absolute Interferometry With Large Measurement Range in Wafer-Mask Alignment 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yin, Didi;  Ma, Chifei 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2015/07/10 Moire fringes  measurement range  wafer-mask alignment  lithography   基于CAN总线的运动控制通讯系统设计 期刊论文  OAI收割 计算机测量与控制, 2015, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 2120-2122+2125 作者:  马驰飞;  严伟;  胡松 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2016/11/23 CAN总线  FPGA  SJA1000  运动控制  数据通讯系统   Moiré-based absolute interferometry with large measurement range in wafer-mask alignment 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 435-438 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yin, Didi;  Ma, Chifei 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2016/11/23 Moiré-based absolute interferometry with large measurement range in wafer-mask alignment 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 435-438 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yin, Didi;  Ma, Chifei 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/22