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Effect of Hydrogen Reduction on Characteristics of Cu Thin-Films Deposited by RF-Driven Ar/H2 Atmospheric Pressure Plasma Jet 期刊论文  OAI收割
Applied Physics Express, 2012
作者:  Hisashi Nakahiro;  Peng Zhao;  Akihisa Ogino;  Wei Zheng;  Yuedong Meng
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Optical and mass spectroscopy measurements of Ar/CH4/H-2 microwave plasma for nano-crystalline diamond film deposition 期刊论文  OAI收割
DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 2007, 卷号: 16, 页码: 675-678
作者:  Zhou, Haiyang;  Watanabe, Jun;  Miyake, Masato;  Ogino, Akihisa;  Nagatsu, Masaaki
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