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工程热物理研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2010 [2]
2005 [1]
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共3条,第1-3条
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Drying of Flowing Liquid Film on Rotating Disk
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF THERMAL SCIENCE, 2010, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 234,238
Mizue MUNEKATA1
;
Jun NISHIYAMA2
;
Akira NOGUCHI2
;
Hiroaki KURISHIMA3
;
Hiroyuki YOSHIKAWAl
;
Hideki OHBA4
收藏
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提交时间:2013/01/06
Spin coating
Drying characteristic
Liquid film flow
Air boundary layer
Spiral vortex
Drying of Flowing Liquid Film on Rotating Disk
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF THERMAL SCIENCE, 2010, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 234,238
作者:
Mizue MUNEKATA1
;
Hideki OHBA4
;
Hiroyuki YOSHIKAWAl
;
Hiroaki KURISHIMA3
;
Akira NOGUCHI2
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提交时间:2013/01/06
Spin Coating
Drying Characteristic
Liquid Film Flow
Air Boundary Layer
Spiral Vortex
Influences of the Exhaust Flow on the Boundary Layer Flow on the Wafer Surface in Spin Coating System
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF THERMAL SCIENCE, 2005, 卷号: 14, 期号: 2, 页码: 130,135
Seiichi KIMURA1
;
Mizue MUNEKATA2
;
Hiroaki KURISHIMA3
;
Kazuyoshi MATSUZAKI4
;
Hideki OHBA2
收藏
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提交时间:2013/03/11
rotating disk flow
spin coating
boundary layer flow
hot-wire measurement