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Method and apparatus for deposition of antireflection coatings and control of their thickness 专利  OAI收割
专利号: EP0466598A1, 申请日期: 1992-01-15, 公开日期: 1992-01-15
作者:  
LANDREAU, JEAN;  NAKAJIMA, HISAO
  |  收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2020/01/18
Method to control the thickness of an antireflection coating and implementation installation 专利  OAI收割
专利号: US5024853, 申请日期: 1991-06-18, 公开日期: 1991-06-18
作者:  
LANDREAU, JEAN;  NAKAJIMA, HISAO
  |  收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2019/12/26