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高能物理研究所 [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2017 [4]
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共4条,第1-4条
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Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060518
作者:
LEI Qiang , 高扬
;
GAO Yang
;
Han Chao
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收藏
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浏览/下载:29/0
  |  
提交时间:2019/08/29
micro-sensors
AlN DETF
sensitivity
signal power
Structure design of a high-performance aluminum nitride differential resonant accelerometer
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060519
作者:
Lei, Qiang
;
Gao Y(高扬)
;
Gao, Yang
;
Zhang, Da-Peng
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收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2019/08/29
resonant accelerometer
aluminium nitride
microleverage
supporting beam
differential frequency detection
Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060518
作者:
LEI Qiang , 高扬
;
GAO Yang
;
Han Chao
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提交时间:2019/08/27
micro-sensors
AlN DETF
sensitivity
signal power
Structure design of a high-performance aluminum nitride differential resonant accelerometer
期刊论文
OAI收割
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060519
作者:
Lei, Qiang
;
Gao Y(高扬)
;
Gao, Yang
;
Zhang, Da-Peng
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提交时间:2019/08/27
resonant accelerometer
aluminium nitride
microleverage
supporting beam
differential frequency detection