机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 中国科学院大学 [1]

采集方式

• iSwitch采集 [1]
• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2008 [1]
• 2007 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 New technology for fabricating a thin film/thick BOX silicon-on-insulator 期刊论文  OAI收割 Source:Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, v 29, n 7, July, 2008, p 1350-1353, 2008, 卷号: 29, 期号: 7, 页码: 1350-1353 Wei, Xing (State Key Laboratory of Functional Material for Informatics, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Acad. Of Sci.); Wang, Xiang; Chen, Meng; Chen, Jing; Zhang, Miao; Wang XI; Lin, Chenglu 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/05/31 Vold-free low-temperature silicon direct-bonding technique using plasma activation 期刊论文  iSwitch采集 Journal of vacuum science & technology b, 2007, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 229-234 作者:  Ma, Xiaobo;  Liu, Weili;  Song, Zhitang;  Li, Wei;  Lin, Chenglu 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/05/10