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• 上海光学精密机械研究... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2012 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging 期刊论文  OAI收割 optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11 Tu, YY (Tu, Yuanying); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Li, SK (Li, Sikun); Cao, YT (Cao, Yuting) 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/09/17 Impact of mask absorber thickness on the focus shift effect in extreme ultraviolet lithography 期刊论文  OAI收割 journal of vacuum science & technology b, 2012, 卷号: 30, 期号: 3 Cao, YT (Cao, Yuting); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Tu, YY (Tu, Yuanying); Bu, P (Bu, Peng) 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2013/09/17 Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging 期刊论文  OAI收割 optics letters, 2012, 期号: 11 Tu, YY (Tu, Yuanying); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Li, SK (Li, Sikun); Cao, YT (Cao, Yuting) 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/09/17