机构

• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2013 [2]

学科主题

• Optical in... [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment 期刊论文  OAI收割 OPTIK, 2013, 卷号: 124, 期号: 24, 页码: 6861-6865 作者:  Li, Lanlan;  Hu, Song;  Zhao, Lixin;  Ma, Ping;  Li, Jinlong 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2015/04/17 Scanner  Synchronization error  Tracking error  Phase difference   A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment 期刊论文  OAI收割 Optik, 2013, 卷号: 124, 期号: 24, 页码: 6861-6865 作者:  Li, Lanlan;  Hu, Song;  Zhao, Lixin;  Ma, Ping;  Li, Jinlong 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/23