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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2004 [1]
• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757 作者:  张平;  王淑荣;  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/03/11 (111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  湿法腐蚀   偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26 作者:  王淑荣;  吴一辉;  张平 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/03/11 (111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  MEMS  湿法腐蚀