机构

• 金属研究所 [2]
• 力学研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 高能物理研究所 [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2006 [1]
• 2003 [1]
• 2001 [1]
• 2000 [1]
• 1994 [1]
• 更多

学科主题

• 力学 [1]
• 核技术及应用 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硕士论文-CSNS/RCS二极陶瓷真空盒镀氮化钛薄膜研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2014 作者:  张洪涛 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2015/10/12 中国散裂中子源    陶瓷真空盒    氮化钛薄膜    直流磁控溅射    电磁场计算   MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 易万兵   收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2012/03/06 氮化钛  半导体制造  薄膜电阻率  晶体结构  金属有机物化学气相淀积     氮化钛沉积膜的摩擦性能研究 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 2003, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 367-370 作者:  张泰华;  郇勇;  杨业敏 收藏  |  浏览/下载：1089/169  |  提交时间：2007/06/15 氮化钛薄膜  显微硬度  纳米压痕  纳米划痕  摩擦性能   负偏压在电弧离子镀沉积TiN／TiCN多层薄膜中的作用 期刊论文  OAI收割 金属热处理, 2001, 卷号: 26.0, 期号: 007, 页码: 17-20 作者:  黄美东;  林国强;  董闯;  孙超;  蒋长荣   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2021/02/02 电弧离子镀  负偏压  多层薄膜  氮化钛  碳氮化钛   氮化钛薄膜及薄膜光伤与弱吸收测量技术 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2000 作者:  金永浩 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 氮化钛薄膜  透射率  光学常数  损伤阈值  温度场   在铁基基材上激光化学气相沉积ＴｉＮ类膜层研究 会议论文  OAI收割 94秋季中国材料研讨会, 北京, 1994-11 冯钟潮; 曹立新 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/08/21 化学气相沉积  氮化钛  薄膜